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本发明提供了一种高精度时钟芯片补偿生产系统及方法，该系统包括PC机及主控软件模块、一级主控单元、二级主控单元、三级主控单元集合模块、频率测量单元集合模块、基准钟源模块、芯片DUT底板模块、温箱模块；三级主控单元集合模块包含若干个三级主控单元；频率测量单元集合模块包含若干个频率测量单元；芯片DUT底板模块上设置有若干个芯片DUT装置；芯片DUT底板模块设置于所述温箱内。本方案生产系统成本低，精度高，可扩展性好，生产效率提高显著。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112947034 B
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202110519563.1 (56)对比文件
(22)申请日 2021.05.13
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