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本发明提供一种冷却托盘及其加工方法和用途，所述冷却托盘为仿水滴形，包括内圆盘和环绕在内圆盘外的仿水滴外环，仿水滴外环设置有环绕内圆盘的圆心均匀分布的钻孔，钻孔从上到下依次设置有方形通孔、第一圆形通孔和第二圆形通孔，仿水滴外环的尖端设置有圆形铣槽，圆形铣槽设置在冷却托盘的反面，圆形铣槽上设置有环绕圆形铣槽的圆心均匀分布的第三圆形通孔，圆形铣槽上设置有环绕圆形铣槽的圆心均匀分布的螺孔，所述冷却托盘用来与其他组合件配合，形成一个平台，在半导体芯片制造过程中起到冷却作用，所述冷却托盘通过计算机数字控制机
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112917108 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202110276206.7 (56)对比文件
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