一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开的一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法，包括以下步骤：第一步，首先将Substrate材料依次在粗、细氮化硼上进行打磨，打磨至Substrate上没有划痕，然后在抛光布上进行抛光处理，第二步，接着将Substrate放入超声波清洗机，依次用丙酮、无水乙醇和去离子水分别进行超声波清洗。本发明所述的一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法，通过在TiAlN与AlTiN薄膜系列中分别添加Si元素制备而成的多元纳米复合超硬强韧涂层材料可以使切削刀具基体保持原有较高的强度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921280 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110104500.X (22)申请日 2021.01.26 (71)申请人科汇纳米技术（深圳）有限公司

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