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本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种集成信号处理电路的传感器及其制备方法。所述集成信号处理电路的传感器包括：第一衬底，所述第一衬底的上表面具有敏感元件；第二衬底，所述第二衬底的上表面具有由薄膜晶体管构建的信号处理电路；粘结层，位于所述第一衬底和所述第二衬底之间，用于粘结所述第一衬底的下表面与所述第二衬底的上表面或者用于粘结所述第一衬底的下表面与所述第二衬底的下表面；互连线，至少贯穿所述第一衬底和所述粘结层，用于电连接所述敏感元件与所述信号处理电路。本发明在解决了工艺兼容性问题的同时，提高集成度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112964944 B
(45)授权公告日 2022.06.14
(21)申请号 202110123980.4 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.29
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