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2023-06-10 发布于四川
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一种晶圆贴膜治具.pdf

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本发明公开了一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板、基础板、固柱、贴附台、气缸动力机，基础板位于底板顶端，贴附台活动于基础板上方，气缸动力机连接在固柱的一侧，固柱嵌固安装在底板上，贴附台与气缸动力机相配合，由转卡环转动，会逐渐摩擦防尘装置并抵触产生卡位，使得侧摆架铰接着实底块向侧端摆向，扯接杆连着其内侧端并为其提供伸缩连接力，撑簧的撑力便于顶挡板可以灵活触压于口端道顶端两侧，起到防尘效果，侧摆架向两侧摆动时，带动气流变化，而有向两侧流通的气流力，利于尘质随气流向两侧活动，继而进入集口中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112928045 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110086281.7 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人梁小明地址 518

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