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本申请涉及靶材制造技术的领域，具体公开了一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺，包括以下步骤：氢还原处理：选用镍粉和铬粉放入推板窑炉中进行氢还原处理；靶材材料混合：将氢还原处理后的镍粉和铬粉进行混料，制得混合金属粉料；热喷涂：在氩气保护气氛内，采用等离子热喷涂的方式将混合金属粉料喷涂于衬管侧壁上，混合金属粉料在衬管侧壁上形成一层靶管，制得管靶胚体；精加工：对管靶胚体进行精密机械加工，获得最终热喷涂管靶。本申请的制备方法具有减少靶管内氧化物杂质颗粒，提高镀膜层与玻璃表面的连接牢固度优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112962049 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110154668.1
(22)申请日 2021.02.04
(71)申请人 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司
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