一种晶圆的清洗方法及实现其的装置.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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一种晶圆的清洗方法及实现其的装置.pdf

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本申请提供一种晶圆的清洗方法和一种晶圆的清洗装置。该清洗方法包括：在晶圆以第一转速旋转的情况下，使用第一清洗液对晶圆进行第一清洗处理；以及在晶圆以第二转速旋转的情况下，使用通入有CO2气体的第二清洗液对晶圆进行第二清洗处理，其中，第二转速小于第一转速。根据该方法，通过在清洗液中加入CO2气体并增加超慢转速的清洗步骤，规避了由于清洗刷与清洗液之间的摩擦所导致的晶圆带电问题，改善了器件的可靠性和稳定性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967924 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110188738.5 (22)申请日 2021.02.19 (71)申请人长江