一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.27万字
约 12页
2023-06-10 发布于四川
举报
版权申诉

一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备，包括：响应于操作人员对高频感应等离子体制粉装置的电源参数的输入操作，确定射频电源的输入给定值；根据输入给定值确定可编辑控制器输出的模拟信号电流，并根据模拟信号电流调节可编辑控制器的控制参数；根据模拟信号得到预设电流大小的标准模拟信号；将标准模拟信号转换为预设电压大小的目标电压，并经分压电阻分压后输送给电源输出线圈；获取高频感应等离子体制粉装置的目标参数，并根据目标参数调整输入给定值以及控制参数。这样，基于闭环控制，可以对输出功率进行实时调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112947153 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202110122460.1 (22)申请日 2021.01.29 (66)本国优先权数