晶圆存放盒的清洗烘干方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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晶圆存放盒的清洗烘干方法.pdf

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本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干方法，包括以下步骤：晶圆存放盒从上料由传送机构依次经过清洗洗刷、沥水和烘干，完成晶圆存放盒的清洗和烘干后下料。所述清洗洗刷由清洗机构和吊装在传送机构上的洗刷机构完成，所述沥水在晶圆存放盒通过沥水架时完成，所述烘干由烘干机构完成。本发明利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果，利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112916502 B (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202110179121.7 B08B 9/36 (2006.01)