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交叉电容式传感器、传感器的制作方法以及油液检测系统.pdfVIP

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  • 2023-06-10 发布于四川
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交叉电容式传感器、传感器的制作方法以及油液检测系统.pdf

    本发明提供一种交叉电容式传感器、传感器的制作方法以及油液检测系统，其中交叉电容式传感器包括：基底，所述基底上凹刻有微流道，所述微流道的两端分别设置有注油口和出油口；以及交叉电容结构，所述交叉电容结构包括4块相同的弧面铜电极以及电极支撑结构，所述弧面铜电极均由同一筒状铜电极均匀切割而来，且贴敷于所述电极支撑结构内表面，拼接成电极间具有微小间隙的筒状结构；所述交叉电容结构部分嵌入基底，使得所述微流道从交叉电容结构内部轴向穿过。本发明可根据电极间介电常数的变化，检测出是否有颗粒经过，并可以通过电容变化

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113418968 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110609481.6 (22)申请日 2021.06.01 (71)申请人 大连海事大学 地址

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