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本申请涉及沉积喷嘴。本发明提供OVJP沉积器,其具有并入于流动阻滞器(510)的中心的排气孔口。针对需要较大特征的例如OLED照明等应用,可以使用多个流动阻滞器以增加均匀性。流动阻滞器可以完全横断递送孔口或可以部分地延伸通过其长度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112941465 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110133349.2 (51)Int.Cl.
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