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利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术.pdfVIP

利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术.pdf

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    本发明涉及建筑材料技术领域，具体涉及一种利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术。所述的利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术，制备步骤为：利用磁控溅射法，在陶瓷板釉面依次形成氮化硅薄膜过渡层、铬镍膜导电层，退火得到电磁屏蔽陶瓷板。本发明提供一种利用磁控溅射法制备电磁屏蔽陶瓷板技术，制备出的电磁屏蔽陶瓷板有效屏蔽外界信号对设备影响，避免外界电场对仪器设备的影响，提高仪器设备测试精度，延长使用寿命,产品可广泛应用于医院、学校、地铁等公共场所。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921268 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110089120.3 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人 山东

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