LCOS结构及其形成方法.pdfVIP

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2023-06-10 发布于四川
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LCOS结构及其形成方法.pdf

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本发明提供了一种LCOS结构及其形成方法，LCOS结构包括：硅基板、位于硅基板上方的液晶层和透明导电层；硅基板内形成有导电衬垫、暴露出导电衬垫的开口以及至少一层金属层；开口位于液晶层的周侧；导电衬垫的正下方不分布金属层；导电衬垫与至少一层金属层中的其中一层金属层位于同层且电连接；开口内以及硅基板与透明导电层之间的间隙填充有导电胶。透明导电层与导电衬垫通过导电胶中的金属导电粒子电连接，电信号内导引制程连接可缩减LCOS结构尺寸。导电衬垫的正下方不分布金属层，如此一来，在透明导电层与硅基板压合过程中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112965308 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202110158064.4 审查员王洁 (22)申请日 2021.02.04