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本申请提供了一种高效超精研磨装置，包括：研磨桶、多个研磨组件以及振荡器。研磨桶具有研磨腔。多个研磨组件设置在研磨腔内，研磨组件能够绕研磨组件的轴线相对于研磨腔旋转。振荡器用于向研磨腔内提供振动波。研磨组件包括：转轴以及多个分散盘。本申请提供的高效超精研磨装置，将磨料及药品投入研磨腔内，开启高效超精研磨装置，振荡器工作向研磨腔内提供振动波，振动波对磨料及药品赋能使磨料及药品运动起来，同时通过高速旋转的分散盘与磨料的配合对药品进行研磨；振荡器能够增加药品与磨料及分散盘的碰撞与摩擦，增加药品所受到的剪
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112916143 B
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202110508001.7 B02C 23/34 (2006.01)
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