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金属遮罩的制造方法.pdfVIP

金属遮罩的制造方法.pdf

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    本发明公开一种金属遮罩的制造方法，包括提供成长基板，其具有导电面。接着，在导电面上形成遮盖图案，其具有至少一开口与接触导电面的绝缘表面。接着，以遮盖图案作为屏蔽，进行第一次电铸，在导电面上形成模具部。模具部填入于开口，并具有接触导电面的导电图案表面。导电图案表面与绝缘表面彼此切齐。在进行第一次电铸之后，移除成长基板，保留遮盖图案与模具部。在移除成长基板之后，对模具部的导电图案表面进行第二次电铸，以在导电图案表面上形成金属图案。之后，从金属图案移除模具部与遮盖图案。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112921365 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110099589.5 C23C 14/24 (2006.01)

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