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本发明公开了一种新型的槽栅型MOS器件及其制备方法，包括：N型衬底，N型轻掺杂缓冲区，P型阱区，P型重掺杂源极区，N型重掺杂区，P型掺杂区，N型重掺杂源极区，高K绝缘层，栅极多晶硅区，栅极电极，源极电极和漏极电极；N型衬底的下面做漏极电极，N型衬底上有N型轻掺杂缓冲区，N型轻掺杂缓冲区上有P型阱区和N型重掺杂区，N型重掺杂区在P型阱区之间，N型重掺杂区上有P型掺杂区，P型掺杂区上有N型重掺杂源极区，N型重掺杂源极区中间有槽型栅结构区，槽型栅结构区贯穿N型重掺杂源极区和P型掺杂区，并延伸到N型重掺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112928166 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110346031.2
(22)申请日 2021.03.31
(71)申请人 厦门芯一代集成电路有限公司
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