原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种功率器件模块及其制作方法，包括：第一半导体掺杂层；位于第一半导体掺杂层一侧的第二半导体掺杂层；位于第二半导体掺杂层背离第一半导体掺杂层一侧表面的衬底和第一阳极；位于第一半导体掺杂层另一侧的第三半导体掺杂层、阴极和绝缘介质层；位于第三半导体掺杂层表面的第二阳极；其中，第一阳极、第三半导体掺杂层、第一半导体掺杂层和阴极构成第一个二极管，第二阳极、第二半导体掺杂层、第一半导体掺杂层和阴极构成第二个二极管，第一个二极管和第二个二极管并联，从而在不扩展晶圆面积的情况下，通过在衬底另一侧制造
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112928114 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110150061.6 审查员 周忠堂
(22)申请日 2021.02.03
文档评论（0）