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本发明公开了一种浸润式的石英产品切割装置，包括底座、切削液盘、切割机构、冷却过滤装置、金刚石线锯，移动平台可滑动安装在底座上，所述切削液盘上设有凹槽，冷却过滤装置和切削液盘之间用进液管和出液管相连，冷却过滤装置包括箱体、离心机、过滤机和冷却装置，切屑液盘安装在移动平台上，移动平台上设有与转台相连的转台驱动装置，所述底座上安装有支撑架，支撑架两侧安装有可转动的转轮，所述金刚石线锯呈封闭环形且环形两端绕在两个转轮上，通过控制转轮的转动、移动平台的移动情况可控制石英产品的切割，切削液没过金刚石线锯切割
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112917715 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110089661.6
(22)申请日 2021.01.22
(71)申请人 宁波云德半导体材料有限公司
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