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一种热电堆红外探测器，其特征在于，所述探测器包括单晶硅、复合膜层、热电偶层、绝缘介质层、金属图形层、红外吸收层和高反射散热层；所述复合膜层生长在单晶硅层的上表面，所述热电偶层生长在复合膜层的上面，所述热电偶层由串联的热电偶组成，热电偶材料由重掺杂N型多晶硅与重掺杂P型多晶硅经过结对连接而形成，所述绝缘介质层生长在热电偶层上面，所述金属图形层，形成于所述绝缘介质层上，所述红外吸收层生长在热电堆的热端的上表面，所述高反射散热层生长在热电堆层的冷端的上表面，所述红外探测器的底部设有凹槽，形成隔热腔体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112951974 A
(43)申请公布日
2021.06.11
(21)申请号 20191
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