晶圆上目标缺陷的快速筛查方法及其装置、系统、存储介质和电子设备.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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晶圆上目标缺陷的快速筛查方法及其装置、系统、存储介质和电子设备.pdf

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本发明涉及一种晶圆上目标缺陷的快速筛查方法，其包括：获取所有目标区域内每种待筛查缺陷各自的筛查参数，如独特性权重，严重性权重，普适性权重和自定义常量；根据筛查参数确定每种待筛查缺陷各自的筛查参考值；根据筛查参考值和预设的筛查规则，自动筛查出目标缺陷。本发明通过获取每种待筛查缺陷多方面的筛查参数，并根据多方面的筛查参数来确定其筛查参考值，然后根据该筛查参考值来自动筛选目标缺陷，解决了现有技术中采用人工筛查无法实现大批量快速筛查的问题，降低了工作人员的劳动强度，同时一定程度上保证了筛查结果的可靠性和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112991268 B (45)授权公告日 2021.12.14 (21)申请号 202110176690.6 (56)对比文件 (22)申请日 2021.02.09

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