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本发明涉及一种用于气体室(2.1至2.n)的维护设备(1)，维护设备具有：用于处理存在于至少一个气体室(2.1至2.n)中的气体的气体处理装置(3)；用于监测气体的至少一个气体特性的至少一个传感器装置；至少一个与气体处理装置(3)和至少一个传感器装置耦联的接头(7.1至7.n)，该接头构造成用于与气体室(2.1至2.n)耦联；至少一个用于将气体从气体室(2.1至2.n)输送到气体处理装置(3)中并且从气体处理装置(3)至少间接地输送回到气体室(2.1至2.n)中的输送装置(8)；以及至少一个控制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112993765 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202011458780.6
(22)申请日 2020.12.11
(30)优先权数据
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