用于调节等离子体切割速率的方法和系统.pdfVIP

用于调节等离子体切割速率的方法和系统.pdf

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通过在容易发生过度蚀刻的区域中提供例如金属锯架的抗蚀刻结构来在所述区域中调节等离子体蚀刻的速度。通过调整尺寸，例如锯架腿的长度和宽度和由所述锯架腿限定的面积，以及通过例如倒角的技术调整蚀刻区域的形状，可控制所述区域中的等离子体蚀刻速度，以便与非过度蚀刻区域中的蚀刻速度匹配。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013155 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011316845.3 (51)Int.Cl.

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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