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- 2023-06-11 发布于四川
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本发明提供了一种制备微粒的装置,包括:高能脉冲激光器;与所述高能脉冲激光器相对的约束层;所述约束层不与高能脉冲激光器相对的一面依次设置有牺牲层与液态靶材层;所述约束层、牺牲层与液态靶材层位于开口容器中;所述开口容器中设置有与靶材不相溶的液体,且所述约束层、牺牲层与液态靶材层位于液体中。与现有技术相比,本发明利用高能脉冲激光作为加工能量源和液态靶材在不相溶液体中能有大接触角的特点,在液体中制备其微粒,利用激光诱导的手段产生定向的能量波推动靶材,形成均匀光滑的微粒。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 106492715 A
(43)申请公布日
2017.03.15
(21)申请号 20161
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