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本申请属于半导体技术领域，提供了一种药液控制装置、去胶设备，通过在第一储液罐、第二储液罐以及第二回流罐之间设置第一三通阀门，在第二储液罐、第三储液罐以及第三回流罐之间设置第二三通阀门，并由主控模块监测第一储液罐、第二储液罐以及第三储液罐内药液中反应物的浓度，并根据监测结果生成抽取控制信号和药液补充控制信号，以控制设于第一储液罐上的药液抽取管抽取第一储液罐内的药液，控制药液补充管向第三储液罐中补充药液，使得储液罐内的药液浓度处于适当水平，避免药液浓度波动太大导致工艺不稳定的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116246982 A
(43)申请公布日 2023.06.09
(21)申请号 202310143391.1
(22)申请日 2023.02.03
(71)申请人 深圳方正微电子有限公司
地址 5
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