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微纳米线间隔标准样板校准规范.docx

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    PAGE 1 PAGE 13 PAGE 12 微纳米线间隔标准样板校准规范 范围 本规范适用于线间隔不大于100μm的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。 引用文献 GB/T 3505—2009 产品几何技术规范（GPS）表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数 GB/T 10610—2009 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 轮廓法评定表面结构的规则和方法 GB/T 19067.1—2003 产品几何量技术规范（GPS） 表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准 GB/T 19067.2—2004 产品几何量技术规范（G

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