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本发明提供一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法及滤波器，其中薄膜压电声波谐振器包括：第一基板；设置于所述第一基板上表面，从上至下依次叠层的上电极、压电片体和下电极；所述上电极、压电片体和下电极在垂直于所述压电片体表面的方向上设有重叠的区域；在所述重叠的区域内，所述压电片体与所述上电极之间设有第一间隙、所述压电片体与所述下电极之间设有第二间隙；隔离空腔，环绕于所述压电片体的外周，所述压电片体与所述基板之间至少设有一个连接桥；所述第一间隙、所述第二间隙通过所述隔离空腔相连通。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112994639 A
(43)申请公布日
2021.06.18
(21)申请号 20191
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