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一种透明的自选色的异质结忆阻器及其制备方法.pdfVIP

一种透明的自选色的异质结忆阻器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种透明的自选色的异质结忆阻器及其制备方法,属于集成微电子器件技术领域。异质结忆阻器包括:透明衬底,附着于透明衬底上的透明下电极,附着于透明下电极上的功能层,以及附着于功能层上的透明上电极;功能层由氧化物和ZnS构成,氧化物作为开关介质层,ZnS作为颜色调控层和开关介质层,通过改变ZnS的厚度来实现不同颜色的选择。本发明通过对该忆阻器中关键的功能层组成进行改进,利用ZnS和氧化物的阻变特性,可实现基础忆阻器的基本功能;利用ZnS的厚度可调节器件的颜色选取;同时,由于器件本身材料具有良

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013329 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 202110196024.9 审查员 赵璐 (22)申请日 2021.02.22

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