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本申请公开了一种长晶炉的冷却系统，包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，过滤装置与设于长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，过滤装置包括的过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经过滤单元后对长晶炉炉体内部提供冷却介质；储放装置上设有备用过滤单元；长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对控制单元提供监测信息，受控置换装置受控制单元控制，当过流通道的流量小于设定值时，受控置换装置用备用过滤单元置换过流通道上的过滤单元。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112981542 B
(45)授权公告日 2022.04.08
(21)申请号 202110212579.8 (56)对比文件
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