原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种光罩及光罩缺陷检查的方法，在光罩的切割道区域设置标记图形，并以标记图形的坐标为参考点建立光罩的缺陷检查程式，以实现完全offline的情况下建立光罩缺陷检查程式，不用占用其他光罩的扫片时间来建立缺陷检查程式，提升扫片机台利用率；且通过借助标记图形的坐标为参考点建立光罩的缺陷检查程式，可以大大缩短缺陷程式建立周期，节省人力。进一步的，本发明可以以标记图形为光源校准点和切割道特征图形校准点进行图像校准，实现多层光罩的缺陷检查程式有相同的光源校准点和切割道特征图形校准点，增加缺陷检查程式
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113009775 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110213561.X
(22)申请日 2021.02.25
(71)申请人 广州粤芯半导体技术有限公司
文档评论（0）