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本发明公开了焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，属于光学技术领域。本发明提出了一个理论模型，该模型描述了聚焦校准信号的振幅，该信号是在基准光栅后面使用相敏检测测量的，作为对准光栅标记z位置的函数。本发明的焦点校准系统及基于光束扫描角度调制的焦点校准方法，该方法的优点是可以通过对准测量系统自身测量性能对光栅标记z向位置进行精确确定，改变了以往需要通过光刻系统其他传感器进行z方向校准的情况。该方法对于对准测量系统焦点校准精度较高，可以达到亚纳米级别，并给出了算法支持，使得调节更加精准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112987504 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110154693.X
(22)申请日 2021.02.04
(71)申请人 哈尔滨工业大学
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