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本发明公开了一种小位移量预推力机构，包括驱动组件、测量装置、产品固定组件和移动装置；所述移动装置包括X轴移动装置、设置在X轴移动装置上的推块、Z轴移动装置和设置在Z轴移动装置上的反推块；所述推块上设置有第一斜面，所述反推块上设置有与第一斜面相接触的第二斜面；所述Z轴移动装置上设置有压力传感器；所述测量装置包括测量探针和探头。本发明公开的小位移量预推力机构通过推块和反推块之间的相互运动，增加了竖向位移，解决了高精度压力传感器位移量小无法满足应用的问题；通过在测量探针上设置滑动装置实现测量探针的自动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985782 B
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202110457296.X G01L 5/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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