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2023-06-11 发布于四川
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气相外延方法，具有以下方法步骤：在反应腔中由外延气流的气相在衬底的表面上或在前面层上生长具有从第一传导类型改变至第二传导类型的掺杂的III‑V层，该外延气流具有承载气体、用于III.主族中的元素的至少一个第一前体和用于V.主族中的元素的至少一个第二前体，其中，在达到第一生长高度时，借助于外延气流中的第一前体的第一质量流相对于第二前体的第二质量流的比例调设出第一传导类型的第一掺杂初始值，随后，将第一掺杂初始值降低为第一或低的第二传导类型的第二掺杂初始值，随后跨越具有至少10μm的生长高度的过渡区域

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013024 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011360606.8 C30B 29/40 (2006.01)

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