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本发明公开了一种硅基MicroOLED微显示器高精度角度测试方法，包括以下步骤：1）、确定光谱仪的镜头与平台A轴垂直；2）、寻找B轴的机械圆心；3）、设定五轴的机械原点；4）、进行角度拟合；5）、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标。与现有技术相比，本发明提供的五轴角度测试方法具有成本低、精度高（1～2um级别），可满足小尺寸产品任意角度的测试。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985774 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110172590.6
(22)申请日 2021.02.08
(65)同一申请的已公布的文献号
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