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本文描述的实施例适用于在所有类型的等离子体辅助的或等离子体增强的处理腔室中使用，并且还适用于基板的等离子体辅助的或等离子体增强的处理的方法。更具体地，本公开的实施例包括宽带滤波器组件，在本文中也称为滤波器组件，宽带滤波器组件配置为减少和/或防止RF泄漏电流通过与RF驱动的部件和接地直接或间接电耦接的其他电气部件从一个或多个RF驱动的部件传送到接地、具有高输入阻抗(低电流损耗)使其能与成形DC脉冲偏压应用兼容。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112997401 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 201980074332.5 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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