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一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法.pdfVIP

一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法.pdf

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    本发明属于材料技术领域，尤其涉及一种酸处理的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于：用磁控溅射的办法，利用金属钒靶，以氩气为反应气体，在石英玻璃上制备了较为致密的金属钒薄膜，然后将钒膜置于一定浓度的酸中处理，除去结晶性较差的金属钒颗粒，再把钒膜放入退火炉中热处理得到二氧化钒薄膜。操作简单，克服了原有钒膜过于致密的缺点，又不用引入其他掺杂元素，简化了制备工艺，在不影响太阳光调制效率的前提下得到了可见光透过率较高的二氧化钒薄膜，且得到的二氧化钒薄膜耐久性较好，具有十分广阔的应用前景。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112981347 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202110185123.7 C23C 14/08 (2006.01)

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