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2023-06-11 发布于四川
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一种电子级六氟化硫吸附装置及应用.pdf

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本发明提供了一种电子级六氟化硫吸附装置，包括低压吸附单元及高压吸附单元，所述低压吸附单元和所述高压吸附单元串联连通；所述低压吸附单元包括依次串联连通的第一低压吸附塔和第二低压吸附塔，所述第一低压吸附塔中含有硅胶吸附剂，所述第二低压吸附塔中含有铝胶吸附剂；所述高压吸附单元包括第一高压吸附塔、第二高压吸附塔、第三高压吸附塔、第四高压吸附塔和第五高压吸附塔，所述第一高压吸附塔中含铝胶吸附剂，所述第二高压吸附塔中含有5A分子筛吸附剂，所述第三高压吸附塔中含有13X分子筛吸附剂，所述第四高压吸附塔中含有C

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112978683 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110173728.4 (22)申请日 2021.02.06 (71)申请人福建德尔科技有限公司

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