单晶炉拉棒操作步骤.docx

- -可编辑修改- 单晶炉拉棒的具体操作步骤 利用区熔单晶炉进展以下操作：1.清炉、装炉；2.抽空、充气、预热； 3.化料、引晶；4.生长细颈；5.扩肩及氮气的充入；6. 转肩、保持及夹持器释放；7.收尾、停炉 清炉、装炉：清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴，调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中；将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处，然后将其安装到上轴末端，进展多晶料的对中；将籽晶装入籽晶夹头上，然后将其安装到下轴顶端；关闭各个炉门，拧紧各紧固螺栓； 抽空、充气，预热：翻开真空泵及抽气管道阀门，对炉室进展抽真空，真空度到达所要求值时，关闭抽气管道阀门及真空泵