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压电致动器的制造方法.pdfVIP

压电致动器的制造方法.pdf

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    本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993145 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011338648.1 H01L 41/314 (2013.01) (22)申请日

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