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本发明涉及声波滤波器技术领域，具体为一种高度集成的高带外抑制型声波滤波器及其制备方法。是在传统兰姆波谐振器的基础上，通过工艺集成片上螺旋电感，来降低片引入片外无源电感带来的高频寄生电容、电阻和电感等参数对器件产生的影响，实现了相同阶数滤波器条件下更好的带外抑制。在集成过程中，对衬底上的第一氧化层进行区域划分，使其同时作为谐振器牺牲层和螺旋电感的绝缘层，简化了制作工序，节约了制作时间。此外在材料选择方面，温度补偿层与绝缘区域、牺牲区域均为氧化材料，实现了同一芯片上同种材料的多功能使用，降低加工难度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116248063 A
(43)申请公布日 2023.06.09
(21)申请号 202310239883.0
(22)申请日 2023.03.14
(71)申请人 电子科技大学
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