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一种晶圆清洗固定装置.pdfVIP

一种晶圆清洗固定装置.pdf

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    本发明公开了一种晶圆清洗固定装置，包括底板、限位机构和固定机构；底板：其上表面左右两端均设有空心柱，空心柱的外弧面中部均设有矩形口，空心柱的上端面均设有空心块，两个空心块的相对内侧面均通过轴承转动连接有旋转柱，两个旋转柱的相对内侧端头处均设有支撑板，支撑板的中部均设有条形口；限位机构：分别设置于空心柱的内部，限位机构的上端分别与同侧的旋转柱外侧端头固定连接，限位机构的中部分别与同侧的矩形口滑动连接；固定机构：分别设置于支撑板的前端面，固定机构的后端分别与同侧的条形口滑动连接；该晶圆清洗固定装置，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967996 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110224341.7 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人 昆山基侑电子科技有限公司

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