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本发明提供了一种半导体生产线基于联邦学习机制的调度建模方法,基于预获取的半导体生产线的生产需求,将生产需求生成调度问题,对调度问题进行分析和求解;根据分析与求解的信息进行调度建模和调度优化;包括以下步骤,步骤S1,复杂制造数据预处理,建立数据层;步骤S2,基于数据的调度建模,建立模型层;步骤S3,基于数据的调度优化,建立数据处理与分析模块;步骤S4,基于生产计划与实时派工信息建立调度方法模块本发明公开了一种适应能力强、与产线工作结合度高的半导体生产线基于联邦学习机制的调度建模方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113050553 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110187641.2
(22)申请日 2021.02.18
(71)申请人 同济大学
地址 20
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