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真空接头及真空系统.pdfVIP

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    本发明公开了一种真空接头及真空系统，本发明的真空接头包括接头座、接头体以及移动块；所述接头座内部具有腔室，所述接头座上开设有与所述腔室连通的第一通孔；所述接头体的一端与外部的真空源连接，另一端伸入所述腔室以使所述腔室与所述真空源连通；所述移动块沿第一方向可移动的设置在所述腔室中；其中，所述移动块配置为能够沿所述第一方向在遮挡位置和导通位置之间移动，在所述遮挡位置，所述移动块能够断开所述第一通孔与所述腔室的连通，在所述导通位置，所述移动块允许所述第一通孔与所述腔室连通。本发明的真空接头具有打开及关

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113028173 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 20191

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