半导体零部件之射频电源行业动态报告.pdfVIP

目 录 1、 射频电源：半导体制程设备核心零部件 5 1.1、 射频电源：功率放大器为核心模块，可产生高频交流变化电磁波 5 1.2、 射频电源：等离子体化学性质存在差异，可用于多种晶圆制造工艺 7 1.2.1、 射频电源在 PECVD 中的应用 8 1.2.2、 射频电源在等离子体刻蚀中的应用 9 1.2.3、 离子注入机关键构件离子源的可选零部件 11 1.2.4、 射频电源在等离子清洗设备中的应用 12 1.3、 射频电源技术壁垒较高，3D IC 对功率稳定一致要求更高 13 2、 射频电源以美日德进口为主 14 2.1、 全球射频电源市场规模持续扩大 14 2.2、 射频电源为半导体核心零部件 16 3、 国际厂商处领先地位 17 3.1、 MKS Instruments 万机仪器 17 3.2、 Advanced Energy 优仪半导体 20 3.3、 TRUMPF Hüttinger 通快霍廷格 22 4、 国产厂商紧步追赶24 4.1、 英杰电气：高端射频电源验证加速 24 4.2、 恒运昌：PECVD 用射频电源已实现批量供货 26 4.3、 北方华创：收购北广科技射频应用技术相关资产 28 4.4、 神州半导体：半导体产线电源系统服务厂商 28 4.5、 吉兆源：专注射频电源与自动匹配器研制生产 29 4.6、 瀚强科技：A 轮融资获中芯聚源领投 29 4.7、 华鑫晶造：特种电源后起之秀 30 5、 风险分析31 -2- 图目录 图 1：射频电源在泛半导体设备行业广泛应用 5 图 2 ：射频电源原理 6 图 3 ：射频电源功率转换过程 6 图 4 ：晶体管射频功率放大器发展历程 7 图 5 ：PECVD 内部结构 8 图 6 ：a 为各向同性化学刻蚀，b 为各向异性反应离子刻蚀 9 图 7 ：刻蚀设备的两个 RF 电源结构图 10 图 8 ：CCP 与 ICP 结构示意图 11 图 9 ：离子注入机结构 12 图 10：射频等离子清洗兼具物理清洗与化学清洗 13 图 11：稳定的射频系统在刻蚀中的重要性 14 图 12：多个 RF 电源作用于一个电极 14 图 13：全球射频电源市场规模 14 图 14：2020 年中国晶圆厂商零部件采购金额产品结构 16 图 15：射频系统及等离子体源在核心原材料中采购额占比超 1/4 16 图 16：MKS 公司的半导体晶圆产业链 17 图 17：MKS 半导体晶圆设备与材料产品矩阵 18 图 18：MKS 自动化平台在晶圆加工中的应用 18 图 19：MKS 射频电源产品工艺先进，传输效率高 18 图 20 ：2018-2022 年 MKS 营业收入（亿美元） 19 图 21 ：2018-2022 年 MKS 毛利率与净利率 19 图 22 ：MKS 收入构成（按产品，亿美元） 19 图 23 ：MKS 收入构成（按地区，亿美元） 19 图 24 ：AE 电源产品布局，射频电源处全球领先地位 20 图 25 ：AE 收入结构（按产品，百万美元） 20 图 26 ：AE 收入结构（按区域） 20 图 27 ：AE 毛利率与净利率水平 21 图 28 ：AE 电源产品具体应用领域 21 图 29 ：AE 电源产品在半导体制造中的全制造流程 21 图 30 ：AE 射频电源产品一览 22 图 31 ：通快霍廷格等离子体电源领域产线细分 23 图 32 ：通快 2020-2022 财年收入增长情况（亿欧元） 23 图 33 ：2015-2022 年英杰电气营业收入、归母净利润及增速 25 图 34 ：2015-2022 年英杰电气毛利率及净利率（%） 25 图 35 ：2017-2022 年英杰电气光伏及半导体行业销售收