一种基于热效应的微型气体传感器.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种基于热效应的微型气体传感器.pdf

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本发明公开了一种基于热效应的微型气体传感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撑体构成的腔体，所述腔体内位于第一PCB上设置红外探测器，所述腔体内位于第二PCB上设置微加热器，所述红外探测器与微加热器相对设置，且分别电连接到第一PCB和第二PCB上；所述微加热器上方设置气体敏感膜；所述支撑体上开设有进气口和出气口；所述红外探测器和微加热器均采用MEMS工艺制作而成。本发明所公开的微型气体传感器具有体积小、成本低、制备简单、容易批量生产等优势，在气体敏感膜吸附气体分子并发生反应后，可通过红外探测器检

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113049634 B (45)授权公告日 2022.08.23 (21)申请号 202110316886.0 (56)对比文件