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本申请公开了微型凹透镜的制备方法及微型凹透镜，该方法包括以下步骤：在衬底的上表面进行第一次刻蚀，形成下沉平台；在下沉平台中进行第二次刻蚀，形成半球状模具；在衬底的上表面进行阳极键合，键合绝缘玻璃；通过热熔回流工艺使绝缘玻璃填充至下沉平台；减薄抛光绝缘玻璃的上表面；对衬底进行第三次刻蚀，得到微型凹透镜。本申请公开的微型凹透镜的制备方法，通过在衬底上形成半球状模具，再使衬底与绝缘玻璃进行阳极键合，实现了通过模塑法进行脆性材料的微型凹透镜的制备；采用MEMS加工工艺进行微型凹透镜的制备，实现大批量生产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113031131 B
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202110576744.8 (56)对比文件
(22)申请日 2021.05.26
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