微型凹透镜的制备方法及微型凹透镜.pdfVIP

微型凹透镜的制备方法及微型凹透镜.pdf

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本申请公开了微型凹透镜的制备方法及微型凹透镜,该方法包括以下步骤:在衬底的上表面进行第一次刻蚀,形成下沉平台;在下沉平台中进行第二次刻蚀,形成半球状模具;在衬底的上表面进行阳极键合,键合绝缘玻璃;通过热熔回流工艺使绝缘玻璃填充至下沉平台;减薄抛光绝缘玻璃的上表面;对衬底进行第三次刻蚀,得到微型凹透镜。本申请公开的微型凹透镜的制备方法,通过在衬底上形成半球状模具,再使衬底与绝缘玻璃进行阳极键合,实现了通过模塑法进行脆性材料的微型凹透镜的制备;采用MEMS加工工艺进行微型凹透镜的制备,实现大批量生产

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113031131 B (45)授权公告日 2021.08.17 (21)申请号 202110576744.8 (56)对比文件 (22)申请日 2021.05.26

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