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2023-06-12 发布于四川
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提供一种压电设备及MEMS设备，能够实现小型化。压电设备具备：第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极的；第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113054091 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011557513.4 (22)申请日 2020.12.23 (30)优先权数据

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