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一种基板减薄方法.pdfVIP

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  • 2023-06-12 发布于四川
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一种基板减薄方法.pdf

    本发明公开了一种基板减薄方法，其包括：将待减薄的基板放置于运输定位盘，所述运输定位盘载置基板朝向减薄单元移动；所述运输定位盘移动过程中，视觉模块检测基板相对于运输定位盘的位置；根据视觉模块的检测结果，调整基板缺口的位置，使得基板缺口与基板圆心的连线垂直于运输定位盘的移动方向，调整基板与搬运机械手抓取位置同心；运输定位盘移动至交接位置，搬运机械手夹持基板并调整基板缺口的位置；夹持有基板的搬运机械手由交接位置摆动至减薄单元的转台吸盘后，再朝向转台吸盘的边缘摆动，使得基板缺口移动至转台吸盘多孔部的边缘

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115692187 A (43)申请公布日 2023.02.03 (21)申请号 202211407531.3 (22)申请日 2022.11.10 (71)申请人 华海清科股份有限公司 地址 300

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