一种气体配置装置.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种气体配置装置.pdf

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本发明提供一种气体配置装置，包括：目标气体储气罐、第一减压阀、第一流量计、背景气体储气罐、第二减压阀、气体混合罐、第三减压阀、第二流量计、第四减压阀、第五减压阀和光生池。目标气体储气罐通过第一减压阀与第一流量计的第一进气口连接，第一流量计的出气口与气体混合罐的进气口连接，气体混合罐的出气口通过第四减压阀与第二流量计的第一进气口连接，背景气体储气罐的第一出气口通过第二减压阀与第一流量计的第二进气口连接，背景气体储气罐的第二出气口通过第三减压阀与第二流量计的第二进气口连接，第二流量计的出气口通过第五

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113041950 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110178269.9 B01F 3/02 (2006.01)