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本发明提出了制作柔性显示驱动芯片的方法，该制作方法包括：(1)在晶圆的正面设置保护层；(2)对晶圆的背面进行减薄处理，以获得超薄晶圆；(3)在超薄晶圆的背面设置柔性层；(4)在柔性层的背离超薄晶圆的一侧设置热剥离胶层，并对热剥离胶层用支撑结构进行支撑；(5)去除保护层，并从正面对超薄晶圆和柔性层进行切割，以获得若干柔性显示驱动芯片；(6)对热剥离胶层进行加热，并通过具有加热功能的球形顶针头剥离热剥离胶层，再通过拾取头拾取柔性显示驱动芯片。本发明所提出的制作方法，通过设置保护层和支撑结构对柔性的超
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113053812 A
(43)申请公布日
2021.06.29
(21)申请号 20191
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