探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置.pdf

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本发明提出了一种探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置，该装置包括至少一探测光源，用于产生入射光束；至少一光瞳分割系统，用于将入射光束场强进行分割使其在光瞳分割系统第一表面形成为第一场强分布；将具有第三场强分布反射光束使其在光瞳分割系统第二表面形成为第四场强分布；至少一光路准直系统，用于将入射光束聚焦至待测体表面形成为第二场强分布；接收反射光束于光瞳分割器的第一表面形成为第三场强分布。按照本发明的装置及方法，在入射光路上设置瞳面分割，进一步对入射光和反射光使用同一光路器件，通过调整入射探测光光

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113048895 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110241306.6 CN 109253700 A,2019.01.22 (22)申请日 20